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超並列電子ビーム描画装置の開発 江刺 正喜(著/文) - 東北大学出版会
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超並列電子ビーム描画装置の開発 集積回路のディジタルファブリケーションを目指して

A5判
236ページ
定価 3,000円+税
ISBN
9784861632969
Cコード
C3054
専門 単行本 電気
出版社在庫情報
不明
書店発売日
登録日
2018年5月5日
最終更新日
2018年5月10日
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紹介

並列電子ビームによる描画の実用化に向けて、アクティブマトリックス超並列電子ビームの実験・開発の成果をまとめる。

目次

第1章 マスクレス露光と電子ビーム描画・転写
第2章 並列電子ビーム描画の課題
第3章 並列電子ビーム描画装置用電子源
第4章 超並列電子ビーム描画(MPEBW)
第5章 応用と今後の課題
 

上記内容は本書刊行時のものです。