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よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み 佐藤 淳一(著/文) - 秀和システム
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よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み
製造装置の全体を俯瞰する : あなたの知らない日本の実力がわかる
発行：秀和システム
縦210mm
259ページ
価格情報なし
- 初版年月日
- 2016年8月
- 登録日
- 2019年4月12日
- 最終更新日
- 2019年4月12日
紹介
製造装置の全体を俯瞰する。あなたの知らない日本の実力がわかる。世界に冠たる日本の半導体製造装置メーカー、その技術力の神髄が手に取るようにわかる!
目次
半導体製造装置を取り巻く現状
半導体製造装置をファブから理解する
洗浄・乾燥装置
イオン注入装置
熱処理装置
リングラフィー装置
エッチング装置
成膜装置
平坦化(CMP)装置
検査・測定・解析装置
後工程装置
上記内容は本書刊行時のものです。
