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これからのMEMS 江刺 正喜(著/文) - 森北出版
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これからのMEMS LSIとの融合

発行:森北出版
菊判
160ページ
定価 2,600円+税
ISBN
9784627775510
Cコード
C3055
専門 単行本 電子通信
出版社在庫情報
不明
書店発売日
登録日
2016年4月13日
最終更新日
2016年4月28日
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紹介

MEMSはシーズからニーズの時代へ.

MEMS研究の世界的権威である著者が初めて解説し,大きな反響を呼んだ『はじめてのMEMS』に続く待望の続編です.

情報処理を担う集積回路にMEMSを組み合わせるヘテロ集積化技術で,これまで以上に高機能なデバイスやセンサが可能になり,「次世代携帯機器」「センサネットワーク」「光マイクロシステム」「バイオ・医療」「製造・検査」などをはじめとするMEMSの幅広い応用が期待されています.

本書では,そうした応用やニーズ面,開発の実際などをおもに取り上げ,具体的に解説しています.

これからMEMS技術を取り入れたいと考える技術者・研究者が,MEMSの概要や現状を学ぶのに最適な1冊です.

目次

第1章 ヘテロ集積化(MEMSとLSIの融合)
第2章 次世代携帯機器
第3章 センサネットワーク・高機能センサ
第4章 光マイクロシステム
第5章 バイオ・医療用マイクロシステム
第6章 製造・検査装置
第7章 高度化と有効活用への道

著者プロフィール

江刺 正喜  (エサシマサヨシ)  (著/文

東北大学 教授 工学博士

小野 崇人  (オノタカヒト)  (著/文

東北大学 教授 博(工)

上記内容は本書刊行時のものです。